MOSFET 臨界電壓計算器
依元件物理參數計算 NMOS 臨界電壓、氧化層電容、費米電位與基體效應係數。
臨界電壓物理模型
輸入氧化層厚度、p 型基板摻雜濃度、溫度、平帶電壓與非負的源極對基體偏壓。
關於 MOSFET 臨界電壓
臨界電壓是 MOS 結構形成強反轉層、能在源極與汲極之間導電時的閘源電壓。它並非絕對明確的開關界線,因為低於此電壓仍存在可測量的次臨界電流,但它依然是數位時序、類比偏壓、漏電控制與元件製造中最重要的參數之一。臨界值取決於材料性質、氧化層幾何尺寸、基板摻雜、端點偏壓、溫度與捕獲電荷。
本計算器採用標準的理想化 NMOS 基體效應模型。單位面積的閘極氧化層電容等於氧化層介電常數除以厚度。氧化層愈薄,電容愈大,閘極的靜電控制能力愈強。費米電位由熱電壓以及受體摻雜濃度與本質載子濃度之比的對數求得。基體效應係數則結合矽的介電常數、電子電荷、基板濃度與氧化層電容。
源極對基體偏壓為零時,臨界電壓估計值為平帶電壓、兩倍費米電位與空乏電荷項之和。施加正的源極對基體電壓會增加空乏層深度,進而提高臨界電壓,這就是基體效應。模型假設使用均勻摻雜的 p 型矽基板,二氧化矽相對介電常數為 3.9,矽相對介電常數為 11.7,本質載子濃度為每立方公尺 1.45 × 10¹⁶。以每立方公分輸入的摻雜濃度會在內部換算為 SI 單位。
平帶電壓反映功函數差與有效氧化層電荷。在 NMOS 製程中通常為負值,但會隨閘極材料、基板、固定電荷及製造細節而大幅變動。請採用製程文件、擬合元件模型或仔細量測特性的電容器所提供的數值。即使氧化層和摻雜數據精確,猜測此輸入值仍可能使最終臨界電壓明顯偏移。
此方程式適合教學、製程探索與一階比較,不適合用於晶片設計的最終簽核。現代短通道元件具有汲極引致能障降低、量子侷限、非均勻分布、多晶矽空乏、遷移率效應,以及隨溫度變化的本質濃度。量產用精簡模型會納入這些細節,並以量測資料校準。也請注意,臨界電壓萃取方法不同:定電流法、線性外插法與跨導法可能對同一電晶體得出不同值。請將結果視為有物理依據的估計,並與相關製程模型核對。
臨界電壓範例
| 元件輸入參數 | 預期趨勢 | 說明 |
|---|---|---|
| 2 nm, 1e17 cm⁻³, 300 K, Vfb -0.5 V, Vsb 0 V | Vth 0.409 V; Cox 0.01727 F/m² | 較高的氧化層電容提供較強的閘極控制能力。 |
| 5 nm, 5e16 cm⁻³, 300 K, Vfb -0.4 V, Vsb 1 V | Vth 0.627 V; Cox 0.00691 F/m² | 正的源極對基體偏壓提高空乏電荷項的貢獻。 |
| 10 nm, 1e17 cm⁻³, 350 K, Vfb -0.6 V, Vsb 0.5 V | Vth 0.985 V; Cox 0.00345 F/m² | 較低的氧化層電容會增加基體效應係數。 |
如何計算臨界電壓
- 輸入以奈米為單位的閘極氧化層厚度,以及以每立方公分為單位的基板摻雜濃度。
- 輸入絕對溫度與製程平帶電壓。
- 輸入源極對基體偏壓;源極與基體相接時填零。
- 選取「計算臨界電壓」,查看臨界值及中間物理參數。
MOSFET 臨界電壓常見問題
什麼是閘極氧化層電容?
它是每單位閘極面積的氧化層電容,以介電常數除以厚度計算。氧化層愈薄,電容愈大,閘極控制能力也愈強。
為什麼基體偏壓會提高臨界電壓?
源極與基體間的逆向偏壓使空乏區變寬並增加空乏電荷,因此閘極必須提供更高電壓才能達到強反轉。
哪裡可以找到平帶電壓?
請查閱製程文件、電晶體精簡模型或特性量測資料。它取決於功函數與有效氧化層電荷,並非通用常數。
溫度會影響臨界電壓嗎?
會,溫度會改變熱電壓與本質載子濃度。為讓模型清楚易懂,本簡化工具讓熱電壓隨溫度改變,但固定本質濃度。
這個模型能精確描述現代電晶體嗎?
它涵蓋長通道元件的基本靜電特性,但省略重要的短通道與量子效應。量產設計請使用經晶圓代工廠校準的精簡模型。